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1.1 清潔度概念清潔度表示清洗后在零件或產(chǎn)品一定表面上殘留的污物的量。一般來說，污物的量包括種類、形狀、尺寸、數(shù)量、重量等衡量指標。電路板清潔度的控制電路板的使用性能直接與有源電路所有面積上焊盤和孔之間的可見、不可見殘留物的特定量有關(guān)。在一個潮濕的環(huán)境下，離子污染會造成許多問題，如結(jié)晶的生長引起的導體之間的短路，或者直接腐蝕導體而降低產(chǎn)品的表面阻抗。對于電路板來說，保證產(chǎn)品的可靠性而言，監(jiān)控離子污染的程度顯得尤為重要。集成電路生產(chǎn)中可能接觸到的主要污染物有：微粒雜質(zhì)、無機離子、有機物質(zhì)、微生物以及氣體雜質(zhì)等。從廣義上說，不適宜的溫度、濕度、照度、超過限度的靜電電磁噪聲、空氣噪聲以及微振動等，也都是特殊的污染物。其中，微粒雜質(zhì)、無機離子、有機物質(zhì)、微生物以及氣體雜質(zhì)的數(shù)量超過一定限度時，就會使集成電路產(chǎn)品發(fā)生表面擦傷、圖形斷線、短路、針孔、剝離等現(xiàn)象，導致電路漏電、電特性異常。輕者影響電路性能和使用壽命，嚴重時可導致電路報廢。不適宜的溫度、濕度、照度和超限的靜電、振動和噪聲不僅影響工藝設(shè)備的加工精度和使用壽命，而且也會影響操作人員的情緒，進而影響集成電路產(chǎn)品質(zhì)量、生產(chǎn)效率和成品率，由于污染問題造成產(chǎn)品失效的比例可能高達60％以上。離子污染度也是用間接的方法來測定的，先用試驗液沖洗線路板板面，把離子污染溶解在沖洗液中，再檢測萃取液的電阻率或電導率，主要的檢測方法有NaCl當量法和離子色譜法。 2.1方法概述：對于顆粒物的清潔度，常用的檢測方法有以下5種：目視檢測法，熒光發(fā)光法，稱重法，接觸角法，顆粒尺寸數(shù)量法。對于電路板清潔度的測試，主要有NaCl當量法和離子色譜法。目視檢測法：目視檢查法是相對比較簡單的一種檢測方法，由人工直接用眼睛在放大鏡或顯微鏡下對零件可觀察到的外表面或內(nèi)腔表面進行檢查。進而鑒別污染顆粒是否為金屬、非金屬或纖維，及其尺寸大小。目檢法主要用來檢查殘留在零件表面的比較大而明顯的顆粒、斑點、銹斑等污染，該方法主要的缺點是檢查的結(jié)果易受人為因素干擾。熒光發(fā)光法：主要是利用紫外線來檢測零件表面的清潔度。在紫外線的照射下，表面的污染物顆粒會發(fā)出熒光。根據(jù)發(fā)熒光即可目測污物在零件表面的位置，熒光強度也可以應用信號檢測儀測試從而表示表面被污染的程度。但如果要識別污染物的成分等特性，必須借助其它分析法。接觸角法：所謂接觸角，就是液體在固體表面形成熱力學平衡時所持有的角。對固體和液體之間形成的接觸角的測量，是在粘著、表面處理及聚合體表面分析等眾多類似領(lǐng)域廣為知曉的分析技術(shù)，是對多個單位的單層變化也十分敏感的表面分析技術(shù)。接觸角法主要是運用表面清潔度分析儀實現(xiàn)的，它通過分析受油污染的玻璃、芯片、PCB 板等材料的表面接觸角（水滴角）與玻璃、芯片的角度的區(qū)別，來評估玻璃、芯片、PCB 板的清潔程度的方法。稱重法：稱重法是一種工業(yè)生產(chǎn)和試驗中常用的清潔度測試方法。也是本實驗室最常用的測試方法。其測試原理是使用選定的清洗液在一定條件下對一定數(shù)量的試樣進行清洗。將清洗后的液體通過一定孔徑的的濾膜進行過濾（常用的濾膜孔徑有5μm，10μm，20μm，30μm等），污物被收集在濾膜表面上。對過濾前后的濾膜進行稱量，兩次稱重的差值，即為污染物的重量。顆粒尺寸數(shù)量法：是一種零件清潔度測試的新方法。其基本原理是根據(jù)被檢測的表面與污染物顆粒具有不同的光吸收或散射率。其測試方法是：與重量法的處理方法相同，待濾紙干燥后，用顯微鏡（最佳設(shè)備是具有拍照功能的圖像識別和分析設(shè)備）在光照射下檢測，按顆粒尺寸和面積即可得到所測零件的固體顆粒污染物結(jié)果。它適用精密清洗定量化的清潔度檢測方法，尤其適用于檢測微小顆粒和帶色雜質(zhì)顆粒。但是，如果濾膜是白色的，那么對白色污物和氣泡的識別可能引起誤判。 NaCl當量法：溶液中可導電離子的量可以簡單地用溶液的電導率來表示。根據(jù)已知量的NaCl在萃取液中的電導率可以簡單的給出未知導電離子含量。具體操作方法如下：每250mm2的印制板用100ml的溶液以細流方式?jīng)_洗，直到溶液全部收集到燒杯內(nèi)（該過程至少需要1min）。用電導率測試儀測試溶液的電阻率。結(jié)果輸出方式是用每平方厘米面積上的NaCl當量來表示的。離子色譜法：根據(jù)不同離子在流動相和固定相中的吸附和解吸附程度不同，離子通過吸附柱的時間不同，從而實現(xiàn)離子分離。然后根據(jù)離子峰面積大小，計算出檢測離子的濃度。用異丙醇作萃取劑，把 PCB上的待測離子萃取下來再用離子色譜進行檢測，主要是要依靠離子色譜儀來實現(xiàn)的。與NaCl當量法不同的是，離子色譜法可以表征單個離子的含量。

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王小姐

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