檢測認(rèn)證人脈交流通訊錄
- 美國AALBORG質(zhì)量流量計(jì)
Instruments & Controls, Inc成立于1972年,是世界上著名的氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器的生產(chǎn)
廠家,其產(chǎn)品廣泛用于微電子工藝、真空鍍膜、 材料科學(xué) 、石油化工、醫(yī)藥、環(huán)保等領(lǐng)
域。產(chǎn)品特點(diǎn):性價(jià)比高、響應(yīng)速度快、可靠性高,易于集成、環(huán)路保護(hù)、備總
量計(jì)數(shù)器典型應(yīng)用:CVD、PVD、刻蝕、等離子注入、濺射、ITO、玻璃鍍膜、
表面處理等鍍膜工藝 。設(shè)計(jì)特點(diǎn):-剛性金屬結(jié)構(gòu) -流程范圍從0開始到10
sccm直到0到1000slpm -最大壓力500psig(34.5Bar) -泄漏率1*10-7氦
氣 -NIST系統(tǒng)標(biāo)定可追蹤的證明 -可傾斜的LCD讀表 -0-5Vdc或4-20m
A信號輸出 -電路保護(hù) -可用作便攜式的設(shè)備 -0到100%比例顯示 -可
配備流量計(jì)算機(jī) 精度:±1.5%滿量程,包括59℉到77℉的氣體溫度(1
5℃到25℃)和5到60psia(0.4到4.1bar)的壓力??蛇x±1%滿量程(
標(biāo)定精度),在給定的溫度與壓力值條件下。 重復(fù)性:±0.5%滿量
程 回應(yīng)時(shí)間:實(shí)際流速±2%超過滿量程25-100%一般2秒 溫度系數(shù):
0.15%滿量程/℃ 壓力系數(shù):0.01%滿量程/psi(0.07bar) 氣體
/周圍溫度:32℉-122℉(5℃-50℃) 輸出信號:0-5Vdc,最小
1000Ω。4-20mA、0-250Ω回路電阻 傳感器輸出:+12Vdc;
最大200Ω。
南寧華盛宇發(fā)展有限公司
歐陽明
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