首頁 | 門診 | 檢測認(rèn)證 | 儀器設(shè)備 | 企業(yè)庫 | 專家?guī)?/a> | 標(biāo)準(zhǔn)庫 | TBT研究 | 工業(yè)品商城
機(jī)構(gòu)登錄
機(jī)構(gòu)登錄
檢測認(rèn)證人脈交流通訊錄
- THEIA 是一款高性能，穩(wěn)定，靈活，可靠且安全的研發(fā)型原子層沉積系統(tǒng)，兼具工業(yè)生產(chǎn)解決方案的優(yōu)勢。THEIA 可進(jìn)行升級改造，從而滿足科學(xué)研究的各種需求，并實現(xiàn)從“研發(fā)”到“生產(chǎn)”的無縫銜接。 產(chǎn)品規(guī)格【藥物粉末包覆】 1. SMFD-ALDTM 超快沉積：12-30 nm/min 2. 低維護(hù)周期：平均每 50 μm 沉積后維護(hù)一次 3. 閥門：可實現(xiàn)<1ms 開關(guān)控制，壽命可達(dá) 1 億次循環(huán)，在 220℃ 下長期穩(wěn)定工作 4. 薄膜不均勻度<1% 5. 可容納 3 片 75-300mm 基片，300×300×10mm 的腔室 產(chǎn)品特點 THEIA 解決了困擾 ALD 工藝多年以來的問題：效率與維護(hù)。ALD 雖然擁有較好的膜厚控制與均一性，但因為效率不高，市場容量仍然低于 CVD。Forge Nano 擁有 SMFD-ALDTM 超快沉積技術(shù)，可實現(xiàn)快 12-30nm/min 的沉積效率，將 ALD 沉積效率提升到新的高度。同時實現(xiàn)前驅(qū)體高利用率以及低維護(hù)成本，與 CVD 相比，THEIA 的集成減排設(shè)計可以實現(xiàn)污染物“零排放”，避免了環(huán)境污染問題，節(jié)約大量成本，為 ALD 工藝提供了新的參考標(biāo)準(zhǔn)。 藥物粉末包覆https://www.zyzhan.com/st81793/product_3394077.html http://www.desktop-sem.com/SonList-497373.html
關(guān)于檢測通 | 服務(wù)項目 | 合作中心 | 資訊投稿 | 媒體聚焦 | 聯(lián)系我們 | 客服中心 | 網(wǎng)站地圖 | 友情鏈接
Copyright ? 2010-2016 生意寶檢測通 版權(quán)所有.浙ICP備14007955號
浙公網(wǎng)安備 33010602010408號
地址：浙江省杭州市莫干山路187號易盛大廈12F 郵政編碼：310012
客服QQ:2804879579 檢測通QQ群:檢測資源-詢盤、人脈 319379593
-
檢測通手機(jī)版 
檢測通官方微信
檢測通QQ群