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主動(dòng)隔振系統(tǒng)

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主動(dòng)隔振系統(tǒng) TMC主動(dòng)隔振系統(tǒng)STACIS?III STACIS初設(shè)計(jì)用于隔離先進(jìn)半導(dǎo)體工廠中的精密微平版印刷，計(jì)量和檢測設(shè)備，現(xiàn)在是噪聲環(huán)境中敏感儀器的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)解決方案，包括但不限于半導(dǎo)體工廠，故障分析實(shí)驗(yàn)室，納米技術(shù)研究，納米制造設(shè)施和材料研究。 STACISIII包括一個(gè)新的和改進(jìn)的數(shù)字控制器，DC-2020。新的雙核處理器和以太網(wǎng)以及前后面板上的USB串行端口，這個(gè)新的先進(jìn)的控制系統(tǒng)為用戶提供了一個(gè)現(xiàn)代的，易于使用的圖形用戶界面（GUI）。通過數(shù)百個(gè)成功安裝，STACIS是振動(dòng)敏感度高的儀器的理想振動(dòng)消除系統(tǒng)。 TMC主動(dòng)隔振系統(tǒng)STACIS?III特征及優(yōu)點(diǎn)：新改進(jìn)型DC-2020數(shù)字控制器，提供易于使用的圖形用戶界面隔振開始于0.6赫茲，1Hz時(shí)達(dá)到40％至70％的隔離率頻率2赫茲和更高時(shí)，垂直和水平隔振率大于90％降低基礎(chǔ)設(shè)施的要求和建設(shè)成本，即使有較大外界震動(dòng)設(shè)備也可正常運(yùn)行有效隔振范圍，0.6Hz到150Hz 獲得眾多用戶的廣泛認(rèn)可和肯定 6向自由度硬安裝設(shè)計(jì)，無需空氣懸架強(qiáng)大的控制系統(tǒng)無需定期重新校準(zhǔn) point-of-use設(shè)計(jì)方案，與客戶現(xiàn)有隔振系統(tǒng)無縫兼容隨著外部環(huán)境改變，系統(tǒng)自動(dòng)調(diào)節(jié)以適應(yīng)不同外部震動(dòng)情形 TMC的STACIS?技術(shù)使用壓電執(zhí)行器主動(dòng)消振數(shù)字控制器與基于PC的圖形用戶界面（GUI）提高客戶產(chǎn)品產(chǎn)量、質(zhì)量、成品率。符合RoHS標(biāo)準(zhǔn) 寬的主動(dòng)隔振帶寬，的低頻隔振效果亞赫茲的主動(dòng)震動(dòng)消除，主要在0.6-6Hz頻段內(nèi)的隔振可堆疊式設(shè)計(jì) 主動(dòng)硬式安裝結(jié)構(gòu)、而非軟式懸浮、無低頻漂移、主動(dòng)元件與剛性彈簧相連被動(dòng)彈簧濾除了來自STACIS傳感器的負(fù)載諧振，需要的調(diào)諧非常少，甚至無需調(diào)諧由于阻抗不匹配，可兼容儀器內(nèi)部隔離器負(fù)載可達(dá)2000kg http://www.nmerryoptical.com/Products-30798988.html https://www.chem17.com/st392572/product_30798988.html

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