檢測認證人脈交流通訊錄
- ?一、概述
ME-L 是一款科研級全自動高精度穆勒矩陣型橢偏儀,凝聚了頤光科研團隊在橢偏技術(shù)多年的投入,具備 1 全穆勒矩陣測量技術(shù), 2 雙旋轉(zhuǎn)補償器同步控制技術(shù),3 超級消色差補償器設(shè)計技術(shù),4 納米光柵表征測量技術(shù) 等技術(shù)??蓱?yīng)用于各種各向同性/異性薄膜材料膜厚、光學納米光柵常數(shù)以及一維/二維納米光柵材料結(jié)構(gòu)的表征分析。
■ 雙旋轉(zhuǎn)補償器(DRC)配置一次測量全部穆勒矩陣16個元素;
■ 配置自動變角器、五維樣件控制平臺等優(yōu)質(zhì)硬件模塊;
■ 軟件交互式界面配合輔助向?qū)皆O(shè)計,易上手、操作便捷;
■ 豐富的數(shù)據(jù)庫和幾何結(jié)構(gòu)模型庫,保證強大數(shù)據(jù)分析能力
二、產(chǎn)品特點
■ 采用氘燈和鹵素燈復(fù)合光源,光譜覆蓋紫外到近紅外范圍 (193-2500nm);
■ 可實現(xiàn)穆勒矩陣數(shù)據(jù)處理,測量信息量更大,測量速度快、數(shù)據(jù)更加精準;
■ 基于雙旋轉(zhuǎn)補償器設(shè)計,一次測量獲得全穆勒矩陣16個元素,相對傳統(tǒng)光譜橢偏儀可獲取更加全面量測信息;
■ 頤光核心技術(shù)確保在寬光譜范圍內(nèi),提供優(yōu)質(zhì)穩(wěn)定的各波段光譜;
■ 數(shù)百種材料數(shù)據(jù)庫、多種算法模型庫,涵蓋了目前絕大部分的光電材料;
■ 集成對納米光柵的分析,可同時測量分析納米結(jié)構(gòu)周期、線寬、線高、側(cè)壁角、粗糙度等幾何形貌信息。
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