檢測認(rèn)證人脈交流通訊錄
- 橢圓偏光儀針對(duì)LCD、OLED等新型平板顯示量產(chǎn)中所涉及的PI配向膜、光刻膠薄膜、ITO薄膜、有機(jī)發(fā)光薄膜、有機(jī)/無機(jī)封裝薄膜等質(zhì)量控制需要,專門設(shè)計(jì)的在線薄膜測量系統(tǒng)。橢偏在線監(jiān)測裝備可適用于空氣、N2、真空等環(huán)境條件,自動(dòng)實(shí)現(xiàn)玻璃基板上各種膜系結(jié)構(gòu)厚度分布、光學(xué)常數(shù)分布。
它可以通過檢測光線的電場振動(dòng)方向和相位差來確定光線的偏振狀態(tài),包括線偏振、圓偏振和橢偏振。主要由源、樣品、分析器和檢測器等組成。當(dāng)光線經(jīng)過樣品后,會(huì)發(fā)生偏振狀態(tài)的變化,這時(shí)候通過旋轉(zhuǎn)分析器的角度來改變檢測器的接收光信號(hào),并記錄下每個(gè)角度下的信號(hào)強(qiáng)度。對(duì)信號(hào)進(jìn)行數(shù)學(xué)處理,就可以得到樣品對(duì)光線的偏振狀態(tài)造成的影響。
橢圓偏光儀由以下幾部分組成:
光源:通常使用白熾燈或鈉燈作為光源。這些光源可以發(fā)出連續(xù)譜或某個(gè)特定波長的單色光。
偏振器:偏振器可以將非偏振或線偏振的光轉(zhuǎn)化為具有確定偏振方向的偏振光。
樣品架:樣品架是用來放置待測樣品的位置。在偏光儀中,可以使用平板玻璃、晶體、薄膜等不同類型的樣品。
旋轉(zhuǎn)器:旋轉(zhuǎn)器是用來改變樣品在空間中的角度。通過測量樣品沿兩個(gè)軸的旋轉(zhuǎn)角度,可以得到樣品的折射率、厚度等信息。
分析器:分析器是另一個(gè)偏振器,用于檢測樣品對(duì)光的旋轉(zhuǎn)和線偏振狀態(tài)的影響。
探測器:探測器是用來測量樣品對(duì)光的吸收率和旋光率的。在不同的偏光儀中,使用的探測器也不同,有些使用電子倍增管,有些則使用像素陣列。
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