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原子層沉積系統(tǒng)

  • 這真不是您需要的產(chǎn)品？
  • 品　　牌：
  • 主要規(guī)格：
  • 用　　途：
    • 　　桌面型原子層沉積系統(tǒng)采用全新的設(shè)計(jì)理念、便捷的控制系統(tǒng)和豐富的成膜，為廣大科研工作者提供了更為有效的成膜設(shè)備。 　　詳細(xì)說明： 　　桌面型原子層沉積系統(tǒng)由哈佛大學(xué)納米科學(xué)中心薄膜沉積工藝研究科學(xué)家Dr. Philippe de Rouffignac設(shè)計(jì)，基于多年納米薄膜制備的豐富經(jīng)驗(yàn)以及對(duì)科研工作者切實(shí)研究需要的了解，推出了此桌面型、高性能的原子層沉積系統(tǒng)。*設(shè)備自2015年在CNS安裝以來，到目前為止已有超過1500人次使用，人性化的設(shè)計(jì)、便捷的操作和優(yōu)質(zhì)的成膜工藝，贏得了眾多科研工作者的贊譽(yù)。 　　主要特點(diǎn)： 　　1.腔室專為R&D設(shè)計(jì)和優(yōu)化，樣品尺寸達(dá)直徑4’’,可升級(jí)至6''； 　　2.反應(yīng)腔溫度可控范圍：RT-350℃； 　　3.前驅(qū)體源溫度可控范圍：RT-150℃； 　　4.腔室處理壓力可控范圍：0.1-1.5 torr； 　　5.源擴(kuò)展多達(dá)5個(gè)； 　　6.快速循環(huán)處理功能； 　　7.氣路優(yōu)化設(shè)計(jì)、腔體小型化設(shè)計(jì)； 　　8.一分鐘多達(dá)6-10； 　　9.成熟的薄膜Recipes內(nèi)置程序； 　　10.觸屏PLC控制； 　　11.可配套手套箱使用； 　　12.可配備臭氧發(fā)生器； 　　13.可定制樣品夾具； 　　14.相比于市場(chǎng)上同類產(chǎn)品體積相對(duì)偏小，可以放置在凈化間； 　　15.可實(shí)現(xiàn)前驅(qū)體劑量的控制。 　　更多詳情請(qǐng)咨詢：http://www.julistech.com/SonList-2162665.html 　　https://www.chem17.com/st454219/erlist_2162665.html

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