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半導(dǎo)體濕法蝕刻PFA顯影花籃耐強(qiáng)酸PFA晶圓盒低本底值

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    • PFA花籃 PFA花籃（PFA wafer Cassette） 又名 清洗花藍(lán) ，特氟龍卡匣 ， 特氟龍晶舟盒 ，特氟龍晶圓盒為承載半導(dǎo)體晶圓片/硅片的容器，耐酸耐堿耐腐蝕(強(qiáng)酸、強(qiáng)氟酸、強(qiáng)堿)，能做激光雕刻，能夠安裝RFID。保持載體和物料的跟蹤。 主要用于半導(dǎo)體蝕刻部門之酸堿制程中使用、傳送晶圓。我司PFA花籃，進(jìn)入化學(xué)酸、堿蝕刻制程中，可搭配PFA把手使用。 二、參數(shù) 名稱 規(guī)格 耐溫性 應(yīng)用 PFA花籃 PP Cassette 2寸 -200~260℃ 酸堿傳輸制程 4寸 6寸 三、特點(diǎn) 1.耐腐蝕：耐受強(qiáng)酸強(qiáng)堿 2.搭配可活動(dòng)把手，用于晶圓芯片清洗運(yùn)輸 3.耐高低溫：-200~260℃ 4.耐絕緣：介電性能與溫度、頻率無(wú)關(guān)； 5.防污染：本底值低，金屬元素鉛鈾含量小于0.01ppb； 6.低的溶出和析出，確保晶圓芯片無(wú)污染 7.化學(xué)性能穩(wěn)定

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