中圖儀器w1光學3d輪廓儀設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能。測量過程中中提供自動對焦、自動找條紋、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能以及自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能實現(xiàn)大區(qū)域、高精度的測量，可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

在程序分析過程中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能，和粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標準共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標準。

應用場景：粗糙的特征表面

涂覆在電極棒的催化劑表面整體尺寸在7mm左右，中心的催化劑區(qū)域呈低反射率特點，而圓環(huán)外呈高反射率特點，整體的輪廓尺寸和微觀的輪廓起伏反映了涂覆的質(zhì)量。

根據(jù)客戶精度要求，可將3d形貌輪廓一鍵測量儀器的重建算法切換為高速掃描的FVSI重建算法，并可依據(jù)表面粗糙程度，選擇不同步距進行速度調(diào)節(jié)。

w1光學3d輪廓儀設備superViewW1采用經(jīng)國家計量檢測研究院校準的臺階高標準片作為測量標準件，采用該標準片對儀器的檢測精度和重復性進行驗收，其中臺階高標準片高度在4.7um左右，測量精度要求為<0.75%，重復精度要求<0.1%（1σ）（測量15次獲取的數(shù)據(jù)標準差），主要用于對樣品表面的2D、3D形貌進行測量，主要測量參數(shù)為粗糙度、臺階高、幾何輪廓等。