檢測認證人脈交流通訊錄
NIKON集成電路檢查顯微鏡ECLIPSE L200/D
- NIKON將CFI60光學系統(tǒng)用于集成電路檢查顯微鏡,由此獲得前所未有的高對比度圖象。
CFI60光學系統(tǒng)是將尼康著名的CF(消色差)設計與無限遠光學系統(tǒng)結(jié)合在一起,使得物鏡不僅工作距離更長,而且數(shù)值孔徑更高;符合SEMI S2-93A,S8-95S設計;利用計算機輔助工程系統(tǒng)(CAE)隊機身進行防震設計;具有全面的防污染措施。
NIKON集成電路檢查顯微鏡ECLIPSE L200/D規(guī)格
調(diào)焦機構(gòu) 行程29mm,粗調(diào)12.7mm/轉(zhuǎn),
微調(diào)0.1mm/轉(zhuǎn) 1µm/格
反射照明器 12V100W鹵素燈;電動孔徑光闌(中心可調(diào))
固定型視場光闌;可選配小孔光闌
透射照明器
(僅L200D) 12V100W鹵素燈;內(nèi)置式孔徑光闌;
LWD聚光器
物鏡轉(zhuǎn)換器 固定式六孔萬能物鏡轉(zhuǎn)換器(電動),具有DIC插槽。
目鏡筒 超寬視場可傾式三目鏡筒
載物臺 8X8載物臺(205X205mm)(透射50X150mm)
粗微移動可以互相轉(zhuǎn)換,X-Y方向微動手柄位置固。
目鏡 CFI目鏡系列
物鏡 CFI LU/L PLAN系列
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