真空紫外氘燈可以傳輸波長(zhǎng)至 115 納米的深短波紫外線光。光譜范圍從 110 到 350 納米,
在 120 和 160 納米之間強(qiáng)度特別高。
真空紫外氘燈的應(yīng)用
高壓液體色譜分析儀(HPLC)
高分辨率光學(xué)(比如在質(zhì)檢時(shí))
半導(dǎo)體曝光
硅片表面的清潔
將高光能量用于光化學(xué)過(guò)程
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