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《硅烷標(biāo)氣氪氣**》

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A colorless,flammable,high pressure gas.(一種無色,易燃,高壓氣體)

Formula（分子式）: 　　　　　　　　　　　　　SiH₄

Molecular weight(分子量)：　　　　　　　　　32.12

Boiling point(沸點(diǎn)): 　　　　　　　　　　　 -111.5℃,-168.7°F;

Melting point(融點(diǎn)): 　　　　　　　　　　　　-185℃,-301°F.

Vapor Pressure(蒸汽壓): 　　　　　　　　　　 8274Kpa(21.1℃);1200Psia(70°F)

Specific Volume(比容)：　　　　　　　　　　 0.755m3/kg(21.1℃,101.325KPa)

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 12.1ft3/lb(70°F,14.696psia)

Lower Flammable Limit(最低可燃性含量)：　　　0.8％

Upper Flammable Limit(最高可燃性含量)：　　 98％

Threshold Limit Value(人體的最高容許濃度)：　0.5ppm

UN Number(UN號碼)：　　　　　　　　　　　　 UN2203

DOT Classification(DOT類別)：　　　　　　　 2.1(Flammable Gas)(可燃性氣體)

DOT Label(DOT標(biāo)簽)：　　　　　　　　　　　　FLAMMABLE GAS(可燃性氣體)

Cylinder Connection(鋼瓶接口)：　　　　　　　CGA/DISS/JIS--350/632/W22-14L

Grsde(級別) 　　　　　　　　　　　　　　　　 6N

Purity(純度) 　　　　　　　　　　　　　　　　99.9999％

Guaranteed Specification(保證規(guī)格)

Impurity(非組分)	Specification(標(biāo)準(zhǔn))
Oxygen(氧)+Argon(氬)	≤0.06　ppmv
Nitrogen(氮)	≤0.5　ppmv
Carbon Dioxide(二氧化碳)	≤0.05　ppmv
Carbon Monoxide(一氧化碳)	≤0.05　ppmv
Helium(氦)	≤1　ppmv
Water(水)	≤0.1　ppmv
Hydrogen(氫)	≤20　ppmv
Disilane(乙硅烷)	≤0.5　ppmv
Disiloxane(二甲硅醚)	≤0.05　ppmv
C2-C4(碳2--碳4)	≤0.1　ppmv
Methane(甲烷)	≤0.05　ppmv
Total Chlorosilanes(總氯硅烷)	≤0.1　ppmv

Cylinder Size(liter)鋼瓶體積(升)	Content(Kg,lbs)氣含量(公斤,磅)
43.8	12,26.4

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鄭溪松/張宇

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