檢測(cè)認(rèn)證人脈交流通訊錄
- 一、自動(dòng)晶圓探針式輪廓儀/臺(tái)階儀的功能
通過(guò)點(diǎn)擊式平臺(tái)控制、頂視和側(cè)視光學(xué)系統(tǒng)以及光學(xué)變焦相機(jī)等功能,程序設(shè)置簡(jiǎn)便快速。 P-17有用于量化表面形貌的各種濾鏡、調(diào)平和分析算法,可支持2D或3D測(cè)量。 圖案識(shí)別、排序和特征檢測(cè)實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)測(cè)量。
設(shè)備特點(diǎn)
臺(tái)階高度:幾納米至1000μm 微力恒力控制:0.03至50mg
樣品全直徑掃描,無(wú)需圖像拼接 視頻:500萬(wàn)像素高分辨率彩色攝像機(jī)
圓弧校正:消除由于探針的弧形運(yùn)動(dòng)引起的誤差
軟件:簡(jiǎn)單易用的軟件界面 生產(chǎn)能力:通過(guò)測(cè)序、圖案識(shí)別和SECS/GEM實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化
主要應(yīng)用
臺(tái)階高度:2D和3D臺(tái)階高度 紋理:2D和3D粗糙度和波紋度
形狀:2D和3D翹曲和形狀 應(yīng)力:2D和3D薄膜應(yīng)力
缺陷復(fù)檢:2D和3D缺陷表面形貌
工業(yè)應(yīng)用
半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體 LED:發(fā)光二極管
太陽(yáng)能 MEMS:微機(jī)電系統(tǒng)
數(shù)據(jù)存儲(chǔ) 汽車
圓探針式臺(tái)階儀產(chǎn)品來(lái)源:
https://www.chem17.com/st125795/erlist_2338024.html
http://www.natengyiqi.com/Products-36785881.html
上海滬東鍋爐廠有限公司
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