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電子束光刻系統(tǒng)

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  • 主要規(guī)格：
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    • 專用電子束光刻系統(tǒng) 自動化、穩(wěn)定性和吞吐量 徽標(biāo)EBPGPlus淺灰色 EBPGPlus高性能納米光刻系統(tǒng)可在100kV電壓下提供高達(dá)8英寸的能力。其全自動化、高速和高分辨率可以為中心的操作以及半導(dǎo)體制造產(chǎn)生的光刻技術(shù)。 憑借其創(chuàng)新的架構(gòu)和具有吸引力的擁有成本，VOYAGER納米光刻系統(tǒng)降低了高速電子束光刻的準(zhǔn)入門檻。 RAITH150兩個標(biāo)志 RAITH150兩個直寫工具提供超高分辨率EBL和出色的成像能力。亞8納米結(jié)構(gòu)可以在從幾毫米到8英寸晶圓的樣品尺寸上實現(xiàn)，而熱穩(wěn)定性即使在具有挑戰(zhàn)性的環(huán)境中也能支持最高性能。 多技術(shù)電子束光刻系統(tǒng) 靈活性、多功能性和SEM成像 專用電子束光刻系統(tǒng) 自動化、穩(wěn)定性和吞吐量 徽標(biāo)EBPGPlus淺灰色 EBPGPlus高性能納米光刻系統(tǒng)可在100kV電壓下提供高達(dá)8英寸的能力。其全自動化、高速和高分辨率可以為中心的操作以及半導(dǎo)體制造產(chǎn)生的光刻技術(shù)。 憑借其創(chuàng)新的架構(gòu)和具有吸引力的擁有成本，VOYAGER納米光刻系統(tǒng)降低了高速電子束光刻的準(zhǔn)入門檻。 RAITH150兩個標(biāo)志 RAITH150兩個直寫工具提供超高分辨率EBL和出色的成像能力。亞8納米結(jié)構(gòu)可以在從幾毫米到8英寸晶圓的樣品尺寸上實現(xiàn)，而熱穩(wěn)定性即使在具有挑戰(zhàn)性的環(huán)境中也能支持最高性能。 多技術(shù)電子束光刻系統(tǒng) 靈活性、多功能性和SEM成像 http://www.chxwcx.com/Products-37863288.html https://www.chem17.com/st207575/product_37863288.html

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