PHEMOS-1000 Thermal EMMI微光顯微鏡(濱松微光顯微鏡)是一款高分辨率微光顯微鏡，它能通過(guò)探測(cè)半導(dǎo)體器件缺陷導(dǎo)致發(fā)射的微弱光和熱來(lái)定位失效位置。由于 PHEMOS-1000 可與通用探測(cè)儀結(jié)合使用，因此您可以使用您已經(jīng)熟悉的樣品設(shè)置來(lái)執(zhí)行各種分析任務(wù)。安裝可選的激光掃描系統(tǒng)可以采集高分辨率圖案圖像。不同類型的探測(cè)器可用于各種分析技術(shù)，例如發(fā)射分析、熱分析和 IR-OBIRCH 分析。PHEMOS-1000 支持從探針插座板到大型 300 mm 晶圓探針的各種任務(wù)和用途。

特點(diǎn)

● 可安裝兩個(gè)超高靈敏度相機(jī)

● 可安裝多達(dá) 3 種波長(zhǎng)的激光器和 EOP 探針光源

● 配備適用于不同樣品的光學(xué)載物臺(tái)

選項(xiàng)

● 包括激光掃描系統(tǒng)

● 使用高靈敏度近紅外相機(jī)進(jìn)行微光發(fā)射分析

● 使用高靈敏度中紅外相機(jī)進(jìn)行熱分析

● IR-OBIRCH 分析

● 通過(guò)激光輻照進(jìn)行動(dòng)態(tài)分析

● EO 探測(cè)分析

● 使用 NanoLens 進(jìn)行高分辨率和高靈敏度分析

● 連接到 CAD 導(dǎo)航

● 連接到 LSI 測(cè)試儀

顯示功能

疊加顯示/對(duì)比度增強(qiáng)功能

PHEMOS-1000 將微光圖像疊加在高分辨率圖案圖像上，以快速定位缺陷點(diǎn)。對(duì)比度增強(qiáng)功能使圖像更清晰、更細(xì)膩。

顯示功能

● 注釋：評(píng)論、箭頭和其他指示符可以顯示在圖像上所需的任何位置。

● 刻度顯示：刻度寬度可以使用分段顯示在圖像上。

● 網(wǎng)格顯示：垂直和水平網(wǎng)格線可以顯示在圖像上。

● 縮略圖顯示：圖像可以存儲(chǔ)和調(diào)用為縮略圖，并且可以顯示圖像信息，例如載物臺(tái)坐標(biāo)。

● 分屏顯示：圖案圖像、微光圖像、疊加圖像和參考圖像可以一次顯示在 4 窗口屏幕中。

詳細(xì)參數(shù)

尺寸/重量 主機(jī)：1340 mm (W)×1200 mm (D)×2110 mm (H)，約 1500 kg

控制架：880 mm (W)×820 mm (D)×1542 mm (H)，約 150 kg

操作臺(tái)：1000 mm (W)×800 mm (H)×700 mm (D)，約 45 kg

線路電壓 交流 200 V (50 Hz/60 Hz)

功耗 約 1400 VA（最大 3300 VA）

真空度 約 80 kPa 或以上

壓縮空氣 0.5 MPa ～ 0.7 MPa

*PHEMOS-1000 主機(jī)的重量包括探針或同等物品。

PHEMOS，能夠適應(yīng)未來(lái)

PHEMOS-X 是一款高分辨率微光顯微鏡，它能通過(guò)探測(cè)半導(dǎo)體器件缺陷導(dǎo)致發(fā)射的微弱光和熱來(lái)定位失效位置。

特點(diǎn)

可安裝兩個(gè)超高靈敏度相機(jī)

通過(guò)涵蓋不同的發(fā)射分析和熱分析檢測(cè)波長(zhǎng)范圍，從而可以輕松選擇與樣品和故障模式相匹配的分析技術(shù)。

可安裝多達(dá) 5 個(gè) OBIRCH、DALS 和 EOP 光源

專為先進(jìn)設(shè)備設(shè)計(jì)的高精度載物臺(tái)

光學(xué)載物臺(tái)的工作范圍

X ±20 mm

Y ±20 mm

Z +80 mm

* 由于使用了探針臺(tái)，加上樣品臺(tái)或 NanoLens 安裝的干涉，工作范圍可能窄于這些值。

基本顯示功能

疊加顯示/對(duì)比度增強(qiáng)功能

* 實(shí)際顯示功能可能因軟件版本、環(huán)境等因素而異。

PHEMOS-X 將微光圖像疊加在高分辨率圖案圖像上，以快速定位缺陷點(diǎn)。

對(duì)比度增強(qiáng)功能使圖像更清晰、更細(xì)膩。

顯示功能

● 注釋：評(píng)論、箭頭和其他指示符可以顯示在圖像上所需的任何位置。

● 刻度顯示：可以在圖像上分段顯示刻度寬度。 

● 網(wǎng)格顯示：可以在圖像上顯示垂直和水平網(wǎng)格線。

● 縮略圖顯示：圖像可以存儲(chǔ)為縮略圖并進(jìn)行調(diào)用，并且可以顯示圖像信息，例如載物臺(tái)坐標(biāo)。

● 拆分屏幕顯示：可以在 6 窗口屏幕中一次顯示圖案圖像、微光圖像、疊加圖像和參考圖像。

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