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6自由度XN-810系列納米級精密定位工作臺

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    • 型號 XN-810 結(jié)構(gòu)形式 六桿并聯(lián)式（hexapod） 驅(qū)動方式 壓電陶瓷驅(qū)動 運動自由度 X,Y,Z,θX,θY,θZ 負載能力 5kg 位移分辨率 ±2nm 線性度 0.5%F.S 直線定位精度 ±20nm 旋轉(zhuǎn)定位精度 ±0.6μrad 固有頻率±20% 1250Hz 剛度 75N/μm X軸行程范圍 ±18μm Y軸行程范圍 ±18μm Z軸行程范圍 ±9μm θX行程范圍 ±0.4mrad θY行程范圍 ±0.4mrad θZ行程范圍 ±0.6mrad 重量 1320g 操作方式 開/閉環(huán)控制 控制器 XE-500/501模塊化控制器

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