微機(jī)電氣體質(zhì)量流量計(jì)采用微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片技術(shù)和計(jì)算機(jī)自適應(yīng)技術(shù)，歷經(jīng)多年開(kāi)發(fā)的
智能化全電子式氣體質(zhì)量流量?jī)x表。主要技術(shù)性能處于國(guó)際領(lǐng)先水平，具有高靈敏度、高精度、大量程比（100：1）等特點(diǎn)；適用于測(cè)量空氣、氨氣、氧氣、氬氣、二氧化碳、氫氣等介質(zhì)。
針對(duì)工業(yè)環(huán)境，微機(jī)電氣體質(zhì)量流量計(jì)融合了多種抗干擾措施的電磁兼容設(shè)計(jì)，且具有多種信號(hào)輸出，能通過(guò)通訊接口實(shí)現(xiàn)網(wǎng)絡(luò)管理功能；本產(chǎn)品在性能、安裝、維護(hù)方面也具有其獨(dú)特的優(yōu)越性，可廣泛應(yīng)用于石油、燃?xì)狻⒒?、冶煉、能源等各個(gè)領(lǐng)域。
本系列流量計(jì)執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)為：Q/77453766-1.1-2006。參照?qǐng)?zhí)行標(biāo)準(zhǔn)：ISO14511；GB/T20727-2006。

產(chǎn)品特點(diǎn)
采用微機(jī)電系統(tǒng)芯片加工技術(shù)和大規(guī)模集成電路的生產(chǎn)技術(shù)及材料加工技術(shù)，傳感器的尺寸縮小到微米量級(jí)，使流量計(jì)的靈敏度大大提高。在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成，使流量計(jì)的量程比（范圍度）大大提高。結(jié)合二次儀表的微電腦智能技術(shù)，使流量計(jì)重復(fù)性更好，實(shí)現(xiàn)了計(jì)量準(zhǔn)確可靠。技術(shù)進(jìn)步帶來(lái)的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)化，使流量較之傳統(tǒng)的機(jī)械式儀表，壓力損失大幅度減小，極大地降低了能源消耗。采用LCD顯示瞬時(shí)流量和累計(jì)流量，清晰直觀，讀書(shū)方便。產(chǎn)品融合了電磁兼容設(shè)計(jì)技術(shù)，具有高抗干擾能力。本流量計(jì)帶有RS485通訊模塊，配合上位計(jì)算機(jī)網(wǎng)絡(luò)可實(shí)現(xiàn)集中管理?？梢赃x配4-20mA標(biāo)準(zhǔn)電流信號(hào)輸出。通過(guò)國(guó)家防爆認(rèn)證，標(biāo)志為Ex ia ⅡC T4，可用于易燃易爆氣體

工作原理
微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）芯片傳感技術(shù)，是在硅芯片上集成了具有機(jī)械和電子特性
的微米級(jí)傳感器。它并不是簡(jiǎn)單地將機(jī)械和電子功能微縮在芯片上，而是采用了現(xiàn)代
材料制作技術(shù)與大規(guī)模集成電路技術(shù)相結(jié)合獲得新的機(jī)電特性。微機(jī)電系統(tǒng)芯片可實(shí)
現(xiàn)某些宏觀機(jī)電器件所不能達(dá)到的功效。
    MF系列質(zhì)量流量計(jì)采用了本公司生產(chǎn)的熱質(zhì)量氣體流量傳感芯片，屬于質(zhì)量流量
傳感方式的流量計(jì)，它是通過(guò)氣體流動(dòng)產(chǎn)生的熱場(chǎng)變化來(lái)測(cè)量氣體流量的。由于不同
質(zhì)量的氣體對(duì)熱場(chǎng)的變化具有不同的影響，因而，它所測(cè)量的流量為質(zhì)量流量。
    不同于傳統(tǒng)的“熱絲”方式采用了多個(gè)熱傳感器及熱源來(lái)測(cè)量氣體的質(zhì)量流量（
風(fēng)速式熱質(zhì)量流量原理），微機(jī)電系統(tǒng)芯片熱質(zhì)量流量傳感器采用了多個(gè)熱傳感器和
一個(gè)微熱源（量熱式熱質(zhì)量流量原理），大大減少了環(huán)境對(duì)測(cè)量的影響。微機(jī)電系統(tǒng)
芯片熱質(zhì)量流量傳感器的熱源十分微小，采用插入式在相對(duì)大的流場(chǎng)中，在無(wú)氣體流
動(dòng)時(shí)，傳感器的熱源對(duì)環(huán)境無(wú)影響，不會(huì)像傳統(tǒng)的熱絲式質(zhì)量流量計(jì)那樣造成氣體的
對(duì)流。因而，微機(jī)電系統(tǒng)芯片熱質(zhì)量流量傳感器具有優(yōu)良的零點(diǎn)穩(wěn)定性和極短的響應(yīng)
時(shí)間。
    本流量計(jì)主要由電源模塊、MEMS流量傳感芯片、信號(hào)處理模塊、A/D轉(zhuǎn)換模塊、
EEPROM存儲(chǔ)器、RTC實(shí)時(shí)時(shí)鐘模塊以及顯示模塊組成。

技術(shù)指標(biāo)
范圍度                                                                  ＞100：1
精度                                       ±（1.0+0.15FS）%；±（1.5 +0.15FS）%
重復(fù)性                                                          ±0.5% ±0.75%
工作壓力                                     ＜2.5MPa    2.5～4.0 MPa為定制產(chǎn)品
環(huán)境溫度                                                               -10-55℃
介質(zhì)溫度                                                               -20-60℃
濕度                                                                  ＜95%RH
LCD顯示                                                總量（Nm3），流量（Nm3/h）
供電方式                                       8-24VCD；110/220VAC（適配器供選）
校準(zhǔn)條件                  空氣、20℃；101.325KPa；可根據(jù)用戶要求進(jìn)行實(shí)際介質(zhì)標(biāo)定
材料/機(jī)械連接                                            不銹鋼；法蘭/NPT/BSPT
數(shù)據(jù)存儲(chǔ)                                                        可自動(dòng)存儲(chǔ)數(shù)據(jù)
輸出（選項(xiàng)）                                               RS485；4-20mA；脈沖
用戶控制（選項(xiàng)）                                                    用戶界面軟件
防護(hù)等級(jí)                                                                  IP65
防爆等級(jí)                                                           Ex ia ⅡC T4