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ETD-2000Ⅲ/3000Ⅲ 三靶小型離子濺射鍍膜機(jī)

  • 這真不是您需要的產(chǎn)品？
  • 品　　牌：
  • 主要規(guī)格：
  • 用　　途：
    • ETD-2000Ⅲ/3000Ⅲ 離子濺射儀：依據(jù)二極(DC)直流濺射原理設(shè)計(jì)而成的，最簡(jiǎn)單、可靠、經(jīng)濟(jì)的鍍膜設(shè)備。他相對(duì)于ETD-2000/3000的特別之處是在一個(gè)真空室內(nèi)設(shè)計(jì)安裝了三個(gè)靶。旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)，可以依次在同一樣品上涂覆三種材料。適用于實(shí)驗(yàn)室的各種復(fù)合膜樣品制備，及非導(dǎo)體材料實(shí)驗(yàn)電極制作。 配置參數(shù)如下： 靶（上部電極）：直徑：45mm，厚度：0.12mm 真空樣品室： 直徑：160mm，高：120mm 樣品臺(tái)高度調(diào)節(jié)：手動(dòng)調(diào)節(jié) 濺射面積： Ф45mm，三區(qū)域 真空指示表： 最高真空度：≤ 4X10-2 mbar 離子電流表： 最大電流：50mA(100mA) 定時(shí)器： 最長(zhǎng)時(shí)間：900S 微型真空氣閥： 可連接φ3mm軟管 可通入氣體： 多種 最高電壓： -1600（-3000）DCV 機(jī)械泵： 2L/S 樣品表面離子清潔（選配） 意力博通還提供以下服務(wù)： 維修或改造所有類(lèi)型任何品牌的掃描電子顯微鏡(SEM)、數(shù)字圖像和Si(Li)探測(cè)器。提供國(guó)產(chǎn)化能譜儀及改造X射線能譜儀等。
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