檢測(cè)認(rèn)證人脈交流通訊錄
- 功能
快速去除晶圓上之殘留光阻,達(dá)到晶圓表面潔凈,蝕刻率同業(yè)最高
特點(diǎn)
‧處理均勻性佳
‧離子能量低、不損傷基板
‧沒(méi)有電極及基板的污染
‧專利設(shè)計(jì)之特殊等離子電極
‧高密度等離子源
ˇ等離子效率高、清潔效率高
ˇ可控制低的離子能量
ˇ結(jié)合化學(xué)反應(yīng)性及物理撞擊性
‧處理速度快、清潔效率高、可靠度高
‧操作范圍廣
‧可使用多種制程氣體
‧全自動(dòng)且容易操作
‧設(shè)備穩(wěn)定高,容易維護(hù)
‧可依客戶需求作更改
應(yīng)用產(chǎn)業(yè)
‧殘余光阻去除
‧藍(lán)膜殘膠去除
‧PSS 來(lái)料清潔制程
馗鼎奈米科技股份有限公司
梁雅娟
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