檢測認證人脈交流通訊錄
FB7008A型多功能等離子體實驗儀(直流輝光放電、濺射鍍鏌)
- 本實驗由直流高壓電源、真空系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)、輝光放電管、真空鍍膜鐘罩等部件組成。
實驗內(nèi)容:
可測定探極伏安特性、電子密度、電子溫度、電子平均動能、空間電位分布等多種特性參數(shù);了解真空濺射鍍膜的原理及基本方法。
技術(shù)參數(shù):
●真空系統(tǒng):采用旋片式真空泵,單相220V,抽氣速率:2升/秒極限真空:6×10-1Pa。
●熱偶真空計測量系統(tǒng)測量真空度和檢測系統(tǒng)氣體樣品氣壓,系統(tǒng)采用金屬與O型橡膠密封圈密封。
●直流高壓電源:0~2000V連續(xù)可調(diào);放電電流10-6~0.5A可測;
●輝光放電管陽極端有三個探針,可以用單探極法、雙探極法、補償法等進行測量;
●工作氣壓:10~200Pa可調(diào);
●放電管內(nèi)徑φ40×400mm;
●真空濺射鍍膜實驗和輝光放電等離子特性測試實驗通過按鈕開關(guān)切換;
●本儀器設置了漏電保護裝置;
●儀器配有鍍鏌片,另配顯微鏡。
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