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德國(guó)FRT白光干涉儀

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    • 測(cè)量原理 白光干涉測(cè)量 測(cè)量物鏡 10X 20X 50X 垂直測(cè)量范圍： 100um(400um可選) 垂直分辨率 0.1nm X,Y測(cè)量范圍： 1.6X1.2mm 0.8X0.6mm 0.32X0.24mm 工作距離： 3.6mm 3.6mm 1.7mm 側(cè)向分辨率 2.5um 1.25um 0.5um
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    姚先生

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