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主要技術(shù)指標(biāo)Z方向位移分辨率<0.01nm載荷分辨率:50nN最大壓入深度:>500μmX-YTable位移分辨率:1μm在X和Y方向工作范圍可達(dá)100μm量程:1.5...
廣東廣州市
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主要技術(shù)指標(biāo)Z方向位移分辨率<0.01nm載荷分辨率:50nN最大壓入深度:>500μmX-YTable位移分辨率:1μm在X和Y方向工作范圍可達(dá)100μm量程:1.5...
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