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SVS-V2000 濺射臺

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    • SVS-V2000 濺射臺(北京，上海，深圳，成都，西安均有分公司提供服務(wù)) 主要功能：　　 用于半導(dǎo)體工業(yè)生產(chǎn)和實驗室樣品制備時，電介質(zhì)膜和其他半導(dǎo)體膜的蒸鍍工藝。 主要特點: 1 腔體尺寸：600mm-1200mm（或客戶化定制）； 2 可單片或多片同時進行； 3 樣品臺可以行星/旋轉(zhuǎn)/直線等方式運動； 4 鍍膜速率等參考可控，可對樣品在蒸鍍過程中進行實時監(jiān)測； 5 通過反應(yīng)氣體來產(chǎn)生氧化物和氮化物等； 6 全自動的系統(tǒng)。
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    馮先生

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